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真空球閥是一種專為真空系統(tǒng)設計的閥門，用于在真空或低壓環(huán)境下控制介質(zhì)的通斷。其核心結(jié)構(gòu)包括閥體、球體、閥座和執(zhí)行機構(gòu)，通過旋轉(zhuǎn)球體90度來實現(xiàn)啟閉。
以下是其主要特點：
結(jié)構(gòu)與原理
球面密封：采用球面與閥座接觸的密封方式，確保在真空和低壓狀態(tài)下均能可靠密封。
驅(qū)動方式：可手動、電動或氣動驅(qū)動，適應不同自動化需求。
性能特點
高真空適應性：工作壓力范圍廣，從1.3×10??Pa到6×10?Pa，適用于高真空至常壓環(huán)境。
密封性優(yōu)異：漏率可低至1×10?1?Pa·m3/s，有效維持系統(tǒng)真空度。
耐腐蝕性強：閥體多為不銹鋼材質(zhì)，密封件采用聚四氟乙烯（PTFE）、氟橡膠等，耐酸堿及腐蝕性介質(zhì)。
操作靈活：支持任意位置安裝，適用于正負壓工況。
應用領域
半導體制造：控制反應室中的氣體流量，確保制造環(huán)境純凈。
真空鍍膜：調(diào)節(jié)鍍膜室內(nèi)的氣體流動，實現(xiàn)高質(zhì)量薄膜沉積。
化工與制藥：用于酸堿介質(zhì)的真空輸送和處理，符合GMP標準。
航空航天：在燃料系統(tǒng)中保障密封性，確保可靠性。
類型與分類
按驅(qū)動方式：手動、電動、氣動真空球閥。
按連接方式：法蘭連接（光滑式、凹凸式等）、螺紋連接。
真空球閥憑借其卓越的密封性能和廣泛的適應性，在需要精確控制真空環(huán)境的工業(yè)領域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。